NTH20 规格参数
通过手臂旋转中心后移实现了长手臂、无需走行装置即可应对4FOUP。
机型介绍
通过手臂旋转中心后移实现了长手臂、无需走行装置即可应对4FOUP。 典型应用包括:晶圆搬运。
晶圆搬运机器人 NTJ/TTJ/NTH/NX 系列 · 系列技术特点
川崎晶圆搬运机器人符合 SEMI-F47 和 SEMI-S2 标准,无需走行装置即可应对至多 4FOUP 规格 EFEM,在半导体制造装置的前工序中搬运晶圆。
符合 SEMI-F47 和 SEMI-S2 标准,适应半导体工厂的电压波动与安全要求。
通过川崎研发的驱动构造,实现晶圆搬运所需的高精度、流畅、平滑动作。
无需走行装置即可应对最多 4 个 FOUP 规格的 EFEM,节省设备空间。
NX 系列采用紧凑的手臂设计,进一步节省半导体设备的安装空间。
典型应用场景
该机型常见的应用工序(点击查看工艺详情):
晶圆搬运机器人 NTJ/TTJ/NTH/NX 系列 · 同系列其他机型
对比负载与臂展,选择最适合您工序的机型。
NTH20 机型定位与工况适配
NTH20 属于 川崎 晶圆搬运机器人 NTJ/TTJ/NTH/NX 系列 的工业机器人机型,负载参数以官方手册为准、运动半径 1226.6mm。川崎的技术底色是AS 语言功能强,半导体洁净与焊接应用积累深;控制平台为 F 系列(部分)/ E 系列,程序生态为 AS 语言 + 示教器。
从工况适配看,该负载级别定位的典型用途是搬运、装配与通用自动化,本机型的常见应用工序包括晶圆搬运。中等臂展(1226.6mm)覆盖常规工作站需求,单工位布局灵活性好。具体负载参数以铭牌与官方手册为准。
| 参数 | 工程解读与使用建议 |
|---|---|
| 运动半径 1226.6mm | 决定工作单元布局半径:料仓、工装与围栏按最大臂展+安全距离划界;跨工位服务时校核各取放点的可达性 |
| 控制器 F 系列(部分)/ E 系列 | 决定程序生态、备件渠道与二手残值;当前备件渠道通畅,维修与升级路径成熟 |
控制系统与常见故障模式
NTH20 配套的 F 系列(部分)/ E 系列 控制器,程序语言与开发环境为 AS 语言 + 示教器。这一代控制平台的维护重点集中在电源、存储与散热三类基础部件——多数"突发性停机"在预防性维护到位时可以提前发现。
| 故障模式 | 典型表现 | 处置建议 |
|---|---|---|
| 1FB/2FB 板卡故障 | 1FB/2FB 板卡故障(驱动控制板老化) | 纳入年度维保必检项,提前储备对应备件 |
| 编码器电池耗尽导致原点丢失 | 编码器电池耗尽导致原点丢失 | 报警代码对照手册初判,远程诊断可先行定位 |
| 示教器液晶与按键老化 | 示教器液晶与按键老化 | 日常点检覆盖,异常趋势(异响/温升/误差)记录在案 |
| 驱动单元过流报警 | 驱动单元过流报警(电机或负载异常) | 季度除尘保养,柜温监测 |
| 维保项目 | 周期建议 | 要点 |
|---|---|---|
| 电池每年更换 | 每年 | 电池每年更换,更换后原点校验 |
| 减速机润滑脂按周期补注 | 按周期 | 减速机润滑脂按周期补注 |
| 板卡类备件建议关键客户厂内冗余 | 按厂家手册周期 | 板卡类备件建议关键客户厂内冗余 |
| 电缆与拖链检查 | 每半年 | 动力线与编码器线的绝缘、屏蔽与弯曲半径检查,拖链内线缆磨损是间歇性故障主因 |
| 零点与精度复测 | 每年 | 百分表或激光跟踪仪复测重复精度,漂移趋势数据化——精度劣化提前半年可见 |
| 控制柜除尘与风扇 | 每季度 | 滤网清理、风扇转速与噪音检查,柜温记录;粉尘环境缩短周期 |
恒桓对 NTH20 的服务能力
本站为第三方机器人技术服务商,NTH20 相关的八大业务支持如下(按该机型的服务频次排序):
- 维保与维修:NTH20 的现场诊断、板级维修与年度维保合约——电池每年更换等品牌专属项我们按 SOP 执行,川渝当日响应。
- 二手与库存机器人销售:二手流通中等,E/F 系列资料与板级维修渠道我们均有积累;在库NTH20 或同级机型附全功能检测报告与 12 个月质保。
- 新工业机器人销售:新增产线或整批替换时,我们按工艺需求做跨品牌选型对比(含川崎同级别机型),给出配置与报价方案。
- 应用技术服务:NTH20 的工艺编程、轨迹优化、节拍挖潜与换型配方管理,按 晶圆搬运 工况做针对性调试。
- 自动化设备研发:为 NTH20 定制夹具末端、周边工装与安全围栏,接口按 川崎 法兰与 IO 标准设计。
- 机器人租赁:短期产能或工艺验证期可租用 NTH20 同级在库机型,含运输安装调试,租期灵活可转购。
这台设备的常见问题
NTH20 的备件好找吗?
川崎 该世代的备件渠道通畅,驱动器、电源模块、电池、示教器部件等常规件我们备有现货或短周期渠道;电池每年更换类耗材件建议随年度维保合约配置。
负载标称 X kg,实际能抓多重?
额定负载是法兰面的静态承载上限,实际选型还要算三件事:末端夹具自重(真空吸盘组或夹爪常占 2–5kg)、工件偏载产生的惯量(重心偏离法兰中心时按惯量比值校核)、高速运动的动态载荷。工程惯例是"末端+工件"控制在额定值的 70%–80% 以内,节拍与寿命才有保障。
设备用了几年精度变差,怎么恢复?
按排查顺序:先查零点是否漂移(碰撞或电池耗尽后常见),做零点标定;再查减速机回差(正反向定位偏差实测,超标则拆检或更换);然后查安装底座紧固与地基沉降;最后是轨迹补偿参数重整。多数精度问题经标定与维护可恢复大半,不必急于大修——我们先出检测数据再定方案。
二手 NTH20 值得买吗?
二手流通中等,E/F 系列资料与板级维修渠道我们均有积累。二手采购的三个必查项:全功能检测报告(各轴精度、驱动器状态、绝缘与电池)、维修史与运行小时数、控制器世代与软件授权完整性。我们出售的每台二手机附检测记录与 12 个月质保,也可接受客户指定的第三方检测。




