洁净机器人：为"不许产尘"而生的机械臂
什么是洁净机器人
洁净机器人（客户常搜"洁净机械臂""无尘室机械手""晶圆搬运机器人"）是专为洁净室（无尘室）环境设计的工业机器人，服务于半导体晶圆制造、面板（LCD/OLED）、光伏电池、生物医药、精密光学等行业。它的核心指标不是速度或负载，而是产尘量与洁净度等级——普通机械臂在关节运动时会甩出润滑脂颗粒与磨损微粒，一颗 0.1μm 的尘埃落在晶圆上就能报废一颗芯片。
洁净化设计贯穿整机：密封关节（润滑油不外泄、颗粒不外逸）、表面洁净处理（不锈钢/特殊涂层，耐 IPA 与过氧化氢擦拭消毒）、中空走线（电缆气管全内置，减少积尘死角）、低发尘材料（线缆护套、密封圈选材）。按洁净等级常见 ISO Class 4–6（对应老标准百级/千级），半导体前道与医药 A/B 级区要求最高。
| 形态 | 结构 | 典型用途 |
|---|---|---|
| 洁净 SCARA | 水平四轴，密封本体 | 面板/光伏上下料、药品装盒、精密装配 |
| 洁净六轴 | 六轴密封机械臂 | 晶圆盒搬运（FOUP）、复杂姿态装配 |
| 晶圆搬运专用（EFEM） | 直驱真空机械手+大气机械手 | 半导体前道，配合 EFEM 设备前端模块 |
| 洁净 Delta | 并联结构，顶部驱动远离洁净区 | 食品药品高速分拣装盒 |
洁净机器人选型要点
| 参数 | 典型范围 | 工程说明 |
|---|---|---|
| 洁净等级 | ISO Class 4–6 | 按工序所在洁净区等级选择，整机认证（如 FED-STD-209E/ISO 14644） |
| 负载 | 2–50kg（晶圆搬运 2–10kg） | 晶圆盒（FOUP）满盒约 5kg；面板搬运需大负载 SCARA |
| 臂展 | 500–2000mm | EFEM 内搬运行程短而精度要求极高 |
| 重复精度 | ±0.005–±0.02mm | 晶圆对位、玻璃基板取放的核心指标 |
| 耐消毒性 | IPA/过氧化氢/VHP 耐受 | 医药洁净区必查：表面涂层与密封圈耐汽化过氧化氢灭菌 |
| 安装方式 | 正装/倒装/壁装 | EFEM 与设备内嵌安装常见倒装，需核对减速机润滑方案 |
真空机械手：洁净家族的特种分支
半导体前道（刻蚀、CVD、离子注入）的晶圆在真空腔体间传递，用的是真空机械手——整臂工作在真空环境，润滑、材料放气率、电机散热全部按真空规格设计，与大气侧的 EFEM 机械手配合完成"真空-大气"过渡。这是洁净机器人里门槛最高的分支，本站可提供此类设备的维修与二手服务。
洁净场景的八大业务覆盖
我们能为您做什么
应用技术服务：洁净单元方案、EFEM 集成、晶圆/面板搬运编程——详见晶圆搬运应用。
新机与二手购销：史陶比尔 CLEAN 系、爱普生洁净 SCARA、安川洁净专用系列、FANUC 洁净专用机型（C/F 版本）等，二手机附洁净等级与密封检测报告。
维保维修：洁净工况特有问题——密封老化产尘超标、减速机润滑脂变质、电缆护套粉化的检修；维修后洁净度验证。
升级改造：老机型密封套件升级、控制器换代、真空机械手翻新。
常见问题
洁净机器人和工业机械臂是"洁净机械臂"吗？
洁净 SCARA、洁净六轴都是机械臂形态，客户搜"洁净机械臂""无尘室机械手"没问题。但要注意晶圆搬运里还有真空机械手（扁平直驱结构，不太像"臂"）——它们同属洁净机器人大类。工业机器人不都是手臂形状，这个类别就是很好的例子。
普通机械臂加个防护罩能进洁净室吗？
不能替代，顶多临时过渡。洁净室考核的是整机产尘：普通臂的关节密封、润滑脂挥发、电缆摩擦产尘都不是罩子能解决的，且防护罩本身会积尘产尘。正规方案必须用原厂洁净认证机型（ISO Class 4–6），医药区还要核对耐消毒材料。
医药行业用机器人有什么特殊要求？
除了洁净等级，还要过 GMP 相关验证：材料耐 VHP（汽化过氧化氢）灭菌、表面无死角可清洁、润滑剂符合 NSF H1 食品级/医药接触要求、设备 IQ/OQ/PQ 验证文件支持。我们在医药行业的方案按 GAMP5 思路提供验证文件包。
洁净机器人的维护有什么讲究？
三个与普通臂不同的要点：①润滑脂必须用原厂洁净专用脂，普通锂基脂会挥发产尘；②更换密封件后要复测产尘量（颗粒计数器验证）；③维修作业本身要在洁净环境下进行，维修人员按洁净室规程着装。我们的维保服务包含洁净度复验环节。
本站在库洁净机器人（39 款）
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